韩国裸舞
Le 韩国裸舞 Nanotools - Microfab est enti猫rement compatible avec les tranches de 150mm.
Lithographie
- Mode contact. UV large bande (300nm-450nm)
- Faisceau d'茅lectron
Films Minces
- LPCVD Nitrure et Polysilicium
- Oxydes Thermiques
- 脡vaporation par faisceau d'茅lectrons
- Pulv茅risation cathodique DC et RF
- Tournette et atomisation pour les polym猫res
Gravure S猫che
- DRIE
- RIE (HBr, Cl2, CF4, CHF3, SF6, O2, Ar...)
- XeF2 Gravure isotrope
Autres Proc茅d茅s et assemblage
- Collage de tranches (Anodique, Mol茅culaire, Eutectique, Couche interm茅diaire)
- D茅coupe de pr茅cision
- Polissage
- Laminateur
- Microsoudure avec fil d'or ou d'aluminium
Characterisation
- 贰濒濒颈辫蝉辞尘别迟谤颈别听
- Interf茅rom猫tre en lumi猫re blanche
- Microscopes
- Reflectometre
- Mesure des contraintes r茅siduelles
- R茅sistance de feuille
- Station sous pointes
- 笔谤辞蹿颈濒辞尘猫迟谤别
- AFM